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“老万,你怎么看?”许振鸣却没直接回答郝宁教授,反而站起身来问万宁古。
万宁古此时正用一块碎布擦着手上的污渍,脸上的露出犹豫不决的表情。
他有点相信梁宋松的判断,认为没有必要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍激光能量测试的计划是原先预定好的,现在立即推翻的确有些过分。
更何况郝宁教授是团队里精通光学的专家,制定的计划肯定科学。他们这些外行人怎么能随便瞎指挥。
想到这里,他朝许振鸣苦笑道:“许董,我认为郝宁教授是专业人士,制定的计划应该非常专业,咱们还是按照预定好的计划来执行。”
“好!我跟你的意见一致,专业的事情应该交给专业的人去处理。”许振鸣笑道,顺手接过万古宁递来的碎布团。他一锤定音,解决了郝宁团队和梁宋松的意见分歧。
事实上,按照许振鸣的想法,他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但郝宁教授现在要做的是重复两次测试,顶多浪费一些时间和钞票。许振鸣承受的起,一鸣集团也不缺这点资源。
更何况,郝宁教授应该不会无的放矢,有自己专业技术方面的考虑才是。
一念至此,许振鸣朝郝宁教授一挥手,“郝教授,你们团队的测试流程都要按照预定好计划来执行,不要怕花钱,我们集团公司做项目是不怕花钱的。”
“好的许董。”郝宁教授微笑着点点头,开始忙碌起来。
而作为项目小组的负责人,梁宋松此时有点尴尬,心里更是很难受,“这帮土包子不听老人言,吃亏就在眼前呐。”
梁宋松没说话,站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况,一会儿又看看万宁古这帮人的测试流程。
这时。
万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器,要立即再次检测这台主机系统的重复精度、运动精度、震动量数据、功率输出数据、运行过程中的功率变化数据、电磁杂波数据等等。
这套实验测试流程,也是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据,跟以前的测试报告有没有发生变化。
倘若没有发生变化,那就有点麻烦喽!
作为一鸣集团公司的重点项目,这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后,其实已经测试过很多次。倘若数据不过关,项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷,这台设备若没出现问题,逻辑上怎么也解释不清楚。
带着这种疑问,万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边,两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久,他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后,监视器显示的各项数据都很正常,精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董,主机系统重复精度小于0.001毫米,数据正常。”
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“老万,你怎么看?”许振鸣却没直接回答郝宁教授,反而站起身来问万宁古。
万宁古此时正用一块碎布擦着手上的污渍,脸上的露出犹豫不决的表情。
他有点相信梁宋松的判断,认为没有必要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍激光能量测试的计划是原先预定好的,现在立即推翻的确有些过分。
更何况郝宁教授是团队里精通光学的专家,制定的计划肯定科学。他们这些外行人怎么能随便瞎指挥。
想到这里,他朝许振鸣苦笑道:“许董,我认为郝宁教授是专业人士,制定的计划应该非常专业,咱们还是按照预定好的计划来执行。”
“好!我跟你的意见一致,专业的事情应该交给专业的人去处理。”许振鸣笑道,顺手接过万古宁递来的碎布团。他一锤定音,解决了郝宁团队和梁宋松的意见分歧。
事实上,按照许振鸣的想法,他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但郝宁教授现在要做的是重复两次测试,顶多浪费一些时间和钞票。许振鸣承受的起,一鸣集团也不缺这点资源。
更何况,郝宁教授应该不会无的放矢,有自己专业技术方面的考虑才是。
一念至此,许振鸣朝郝宁教授一挥手,“郝教授,你们团队的测试流程都要按照预定好计划来执行,不要怕花钱,我们集团公司做项目是不怕花钱的。”
“好的许董。”郝宁教授微笑着点点头,开始忙碌起来。
而作为项目小组的负责人,梁宋松此时有点尴尬,心里更是很难受,“这帮土包子不听老人言,吃亏就在眼前呐。”
梁宋松没说话,站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况,一会儿又看看万宁古这帮人的测试流程。
这时。
万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器,要立即再次检测这台主机系统的重复精度、运动精度、震动量数据、功率输出数据、运行过程中的功率变化数据、电磁杂波数据等等。
这套实验测试流程,也是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据,跟以前的测试报告有没有发生变化。
倘若没有发生变化,那就有点麻烦喽!
作为一鸣集团公司的重点项目,这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后,其实已经测试过很多次。倘若数据不过关,项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷,这台设备若没出现问题,逻辑上怎么也解释不清楚。
带着这种疑问,万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边,两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久,他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后,监视器显示的各项数据都很正常,精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董,主机系统重复精度小于0.001毫米,数据正常。”
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