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程工艺，其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过，激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层，留下电路图的影像……”
梁宋松指着电脑屏幕，把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程，一一跟这些专家们介绍一番。
这些专家们理论知识比较丰富，第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。
特别是胡明镇发明的Fi制程工艺，他们只是在专业杂志上看过技术论文报道，根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到KrF光刻机实施光刻、验片等工艺流程，总算是开了眼界。
“这套系统的技术确实强，已经超过我所意料之外。”
“真没想到，我们华国也能制造出这种尖端精密设备！”
“胡教授，你们给我们国家争光了。”
刘教授、董教授、单教授等人啧啧称赞，脸上浮现出崇敬不已的表情。
不服气不行啊，事实就摆在眼前。
这帮教授们此时都在打着小算盘，准备回去立即鼓动自己的学生来一鸣集团公司任职。“为甚要出国留学？去鸣芯制造公司任职比留学还要强许多啊！”他们都如是想着。
这时候，梁宋松洋洋得意的介绍，“各位专家，双工制程工艺、Fi制程工艺、扫描式制程工艺等先进的制程工艺，都是我们团队和老师研发的，在第二代光刻机上已经得到过验证。
“不但如此，我们这台光刻机还应用了浸入式制程工艺。把光刻精度再次提高一大截。这种浸入式制程工艺在全球都是一绝，米国佬就是为了得到这种制程工艺才赠送我们三台KrF光刻机的……”
刘教授等人虽然从新闻报道上听说过梁宋松所说得的典故，但现在亲耳听到这段故事，心情激动的不行，宛如喝了蜂蜜一样。
“我们华国有这种尖端技术，并不比老外的水平差！”他们都心潮澎湃，胸膛不由自主的挺了起来，腰杆子也值了。
“不要瞎吹了，快准备好拍照留念的事情。”这时候，芯片技术大咖胡明镇却给梁宋松下达扫兴的命令。
梁宋松没办法，只好朝各位专家们歉意的笑了笑，开始准备布置木椅、幕布、照相机等设施。他也知道，自己的老师这是在故意支开自己，不让自己在这里夸赞老师和团队的功绩。
“老胡，从现在的情况来看，这台光刻机的性能应该达到设计要求了吧？”刘教授意犹未尽，瞥了一眼离去的梁宋松，然后走到胡明镇的身旁。
而胡明镇却微微摇头，“按照我的本意，这台光刻机的速度要达到每分钟曝光一片硅晶圆片。但由于机械、光源功率、光源精度等因素的影响，我们的速度只能达到设计数据的67%。惭愧啊……”
即便这台光刻机有可能是全球目前最先进的光刻机，胡明镇对自己的作品还是感到有些不满意。
“老胡，你就不要矫情了。有了这台光刻机，我们的腰杆子已经直起来喽！”就在这时，章钕京来到光刻室的门卫，咧着大嘴笑呵呵的打趣。
程工艺，其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过，激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层，留下电路图的影像……”
梁宋松指着电脑屏幕，把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程，一一跟这些专家们介绍一番。
这些专家们理论知识比较丰富，第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。
特别是胡明镇发明的Fi制程工艺，他们只是在专业杂志上看过技术论文报道，根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到KrF光刻机实施光刻、验片等工艺流程，总算是开了眼界。
“这套系统的技术确实强，已经超过我所意料之外。”
“真没想到，我们华国也能制造出这种尖端精密设备！”
“胡教授，你们给我们国家争光了。”
刘教授、董教授、单教授等人啧啧称赞，脸上浮现出崇敬不已的表情。
不服气不行啊，事实就摆在眼前。
这帮教授们此时都在打着小算盘，准备回去立即鼓动自己的学生来一鸣集团公司任职。“为甚要出国留学？去鸣芯制造公司任职比留学还要强许多啊！”他们都如是想着。
这时候，梁宋松洋洋得意的介绍，“各位专家，双工制程工艺、Fi制程工艺、扫描式制程工艺等先进的制程工艺，都是我们团队和老师研发的，在第二代光刻机上已经得到过验证。
“不但如此，我们这台光刻机还应用了浸入式制程工艺。把光刻精度再次提高一大截。这种浸入式制程工艺在全球都是一绝，米国佬就是为了得到这种制程工艺才赠送我们三台KrF光刻机的……”
刘教授等人虽然从新闻报道上听说过梁宋松所说得的典故，但现在亲耳听到这段故事，心情激动的不行，宛如喝了蜂蜜一样。
“我们华国有这种尖端技术，并不比老外的水平差！”他们都心潮澎湃，胸膛不由自主的挺了起来，腰杆子也值了。
“不要瞎吹了，快准备好拍照留念的事情。”这时候，芯片技术大咖胡明镇却给梁宋松下达扫兴的命令。
梁宋松没办法，只好朝各位专家们歉意的笑了笑，开始准备布置木椅、幕布、照相机等设施。他也知道，自己的老师这是在故意支开自己，不让自己在这里夸赞老师和团队的功绩。
“老胡，从现在的情况来看，这台光刻机的性能应该达到设计要求了吧？”刘教授意犹未尽，瞥了一眼离去的梁宋松，然后走到胡明镇的身旁。
而胡明镇却微微摇头，“按照我的本意，这台光刻机的速度要达到每分钟曝光一片硅晶圆片。但由于机械、光源功率、光源精度等因素的影响，我们的速度只能达到设计数据的67%。惭愧啊……”
即便这台光刻机有可能是全球目前最先进的光刻机，胡明镇对自己的作品还是感到有些不满意。
“老胡，你就不要矫情了。有了这台光刻机，我们的腰杆子已经直起来喽！”就在这时，章钕京来到光刻室的门卫，咧着大嘴笑呵呵的打趣。