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只见,光刻室里此时并没有一名操作工。
需要流片的硅晶圆片,通过流水线进入一个半密封的洗涤室。洗涤室内有许多自动喷头,可以全方位的喷洒洗涤药剂,清洗硅晶圆片的表面。
清洗干净的硅晶圆通过烘干室,自动烘干,热风吹拂除尘除异物,负压吸取异物。完成这道工序,洁净级别的硅晶圆通过运输皮带来到光刻室的主操作间。
这时候,四台码垛机器人把这些硅晶圆片取下来,放入托盘中临时存放。另外有四台机码垛器人,从托盘中取出一片硅晶圆片,放入光刻机内,等待光刻机给硅晶圆片曝光。
这一套流程下来,居然不要操作工来完成作业。
陈荣干震惊了,眼前的这一切让他无比震撼,“全球最先进的Foundry制程工艺果然不是吹的。这条芯片生产线应该是全球第一,没有哪一家的生产线比这还要先进。”
不但他这么想,所有来参观的技术专家们,此时都是这么想的。
“哇哦!全自动的芯片生产线。我们的Foundry正在研制,鸣芯制造公司倒是已经搞成功了。”
“我靠!这也太牛了吧!比我们高丽国的水平还要高。”
“这消息一定要带回去。我们三新电子一定要做到这一步,否则就会被淘汰的。”
“这是全自动的光刻技术,我们来参观学习又能看到什么呢?”
“是啊。我一开始还比较纳闷,一鸣集团公司怎么会如此大方。现在我总算是搞清楚喽。”
所有前来参观的技术专家们都在啧啧赞叹着。
鸣芯制造公司的这种安排完全是阳谋。已经把全球最先进的一种Foundry制程工艺展现在他们眼前。而他们却只能看一看热闹,却看不到真正的精髓技术。
倘若没有悬挂在玻璃橱窗上的监视器,他们就连那些硅晶圆片的洗涤过程也不会看到的。
虽然有各种监视器把硅晶圆片的光刻过程展现出来,但各种技术参数却没有在监视器上显示,他们还是看不到门道。
相对这些人来说,陈荣干的技术基础更差,现在看到的这一切都已经超过他的认知范围之外。他纯粹就是来看热闹的。
“好!非常先进!不可思议。这难道都是我们国家自己的技术?”陈荣干的脑海里仅仅就是这些词汇。
他已经无法用语言来形容自己的震撼了。
首先第一点,他没有见过码垛机器人和搬运机器人。不知道智能机器人能代替人工来完成这些机械式的劳动作业。
其次是,陈荣干所接触的芯片生产线都是二手货,经常需要修一修改一改,根本不能完成这种流畅的作业。
因此,刚才所见到这一切,都已经超过了他的认知程度。
就在这时。
负责做向导的技术员老刘,拿着话筒开始介绍起来。
“各位来宾。咱们这条生产线所使用的光刻机,就是咱们一鸣集团公司研制的第一台KrF光刻机。为了提高这台光刻机的工作效率,我们又调整工艺,增加两种工业机器人来参与作业……”
老刘告诉大家,这条生产线刚刚才调试成功,正式投产才三天... -->>
只见,光刻室里此时并没有一名操作工。
需要流片的硅晶圆片,通过流水线进入一个半密封的洗涤室。洗涤室内有许多自动喷头,可以全方位的喷洒洗涤药剂,清洗硅晶圆片的表面。
清洗干净的硅晶圆通过烘干室,自动烘干,热风吹拂除尘除异物,负压吸取异物。完成这道工序,洁净级别的硅晶圆通过运输皮带来到光刻室的主操作间。
这时候,四台码垛机器人把这些硅晶圆片取下来,放入托盘中临时存放。另外有四台机码垛器人,从托盘中取出一片硅晶圆片,放入光刻机内,等待光刻机给硅晶圆片曝光。
这一套流程下来,居然不要操作工来完成作业。
陈荣干震惊了,眼前的这一切让他无比震撼,“全球最先进的Foundry制程工艺果然不是吹的。这条芯片生产线应该是全球第一,没有哪一家的生产线比这还要先进。”
不但他这么想,所有来参观的技术专家们,此时都是这么想的。
“哇哦!全自动的芯片生产线。我们的Foundry正在研制,鸣芯制造公司倒是已经搞成功了。”
“我靠!这也太牛了吧!比我们高丽国的水平还要高。”
“这消息一定要带回去。我们三新电子一定要做到这一步,否则就会被淘汰的。”
“这是全自动的光刻技术,我们来参观学习又能看到什么呢?”
“是啊。我一开始还比较纳闷,一鸣集团公司怎么会如此大方。现在我总算是搞清楚喽。”
所有前来参观的技术专家们都在啧啧赞叹着。
鸣芯制造公司的这种安排完全是阳谋。已经把全球最先进的一种Foundry制程工艺展现在他们眼前。而他们却只能看一看热闹,却看不到真正的精髓技术。
倘若没有悬挂在玻璃橱窗上的监视器,他们就连那些硅晶圆片的洗涤过程也不会看到的。
虽然有各种监视器把硅晶圆片的光刻过程展现出来,但各种技术参数却没有在监视器上显示,他们还是看不到门道。
相对这些人来说,陈荣干的技术基础更差,现在看到的这一切都已经超过他的认知范围之外。他纯粹就是来看热闹的。
“好!非常先进!不可思议。这难道都是我们国家自己的技术?”陈荣干的脑海里仅仅就是这些词汇。
他已经无法用语言来形容自己的震撼了。
首先第一点,他没有见过码垛机器人和搬运机器人。不知道智能机器人能代替人工来完成这些机械式的劳动作业。
其次是,陈荣干所接触的芯片生产线都是二手货,经常需要修一修改一改,根本不能完成这种流畅的作业。
因此,刚才所见到这一切,都已经超过了他的认知程度。
就在这时。
负责做向导的技术员老刘,拿着话筒开始介绍起来。
“各位来宾。咱们这条生产线所使用的光刻机,就是咱们一鸣集团公司研制的第一台KrF光刻机。为了提高这台光刻机的工作效率,我们又调整工艺,增加两种工业机器人来参与作业……”
老刘告诉大家,这条生产线刚刚才调试成功,正式投产才三天... -->>
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